翻新設備

諾發的翻新系統業務單位提供一整套翻新的製程設備，經由諾發現有的通路進行銷售和服務。翻新系統所著眼的市場為生產 180 奈米及更大規格裝置的 200 釐米鋁晶圓廠。為滿足這些需求，諾發提供下列各項產品：

製程	應用設施	產品
PECVD HDP CVD-W CMP Surface Prep	IMD, Passivation, TEOS STI, PSG, IMD Contact, Via Tungsten Polish Strip, Clean	Concept One® 200, SEQUEL® SPEED® Concept One W, ALTUS® 776, MV 200 PEP IRIDIA®, L3510, G2100

向諾發購買翻新的系統有以下諸多好處，包括：

• 能確保設備是 諾發核可的產品。
• 有信用的性能規格
• 符合安全標準
• 專業的系統知識和技術
• 專業化的服務和意見反應
• 面面俱到的零件知識及支援
• 不可轉讓的軟體許可證